报告内容摘要： 有机和无机印刷电子技术在传感器、生物电子学和安全应用方面仍然备受关注。许多印刷技术已经得到研究，但通常最小特征尺寸在数十微米范围内，并且需要在高温下进行后处理程序以增强功能材料的性能。激光直写加工技术可以实现三维功能器件的打印，但是目前为止，激光直写结构多由单一聚合物材料组成，缺乏半导体和导体材料复合直写系统方法，并且应用重点一直是光学、机械和生物领域。迄今为止还没有实现功能微纳电子器件的激光直写加工。

 我们介绍了一种激光直写微纳电子器件的新技术，可在同一系统中实现半导体ZnO和金属Pt和Ag的复合直写，并且最小特征尺寸小于1微米。对于这三种材料，激光直写后不需要进行任何烧结处理。基于此新技术，我们展示了功能二极管、忆阻器等元器件的激光直写加工，高稳定性和可重复次数。基于6×6忆阻器阵列，我们进一步实现了加密微电路的激光直写加工和加密功能验证。此外，激光直写和喷墨印刷结合还可实现功能性晶体管。这项工作中介绍的任何器件加工都不需要高真空沉积和标准的洁净室工艺。相关工作有望拓展到其他金属和半导体材料，为高精度三维微纳光电器件的一体化打印提供新的可能。

 关键词 超快激光；激光直写；印刷电子；微纳电子器件

 报告人介绍：

 杨亮，中国科学技术老员工物医学工程学院/工程科学学院特任研究员，博士生导师，入选中科院人才引进项目。先后在中国科学技术大学微纳米工程研究室、德国汉诺威大学(德国九所卓越理工大学联盟成员)、德国卡尔斯鲁厄大学(KIT，首批三所德国精英大学成员)，围绕激光微纳打印开展了十余年的系统性研究工作，在激光微纳打印机理研究，技术开发，以及生物医学微电子、微支架、微机械等前沿应用领域，取得了一系列创新成果。已在Nat. Commun., Adv. Mater., Adv. Funct. Mater., ACS Nano, Laser Photonics Rev., Adv. Opt. Mater, Lab Chip 等知名期刊及学术会议上发表高水平论文40余篇相关研究被Nature Photonics, Phys.org，EurekAlert.org，《科技日报》，《中国科学报》等国内外媒体专题报道，并担任多个国际顶级期刊和行业专业期刊(包括Adv. Mater., ACS Nano, Adv. Mater. Technol. )的审稿专家。先后主持包括国家自然科学基金面上等在内的项目6项，参与国家自然科学基金，以及德国与欧盟重大科研项目多项，受邀担任波兰国家科学基金等项目评审专家。